图：国内首个专用于量子芯片生产的激光退火仪已研制成功。

　　【大公报讯】据央广网报道：记者日前从安徽省量子计算工程研究中心获悉，国内首个专用于量子芯片生产的MLLAS-100激光退火仪（简称“激光退火仪”）已研制成功，可解决量子芯片位数增加时的工艺不稳定因素，像“手术刀”一样精准剔除量子芯片中的“瑕疵”，增强量子芯片在向多比特扩展时的性能，从而进一步提升量子芯片的良品率。

　　“我们在量子芯片生产过程中会通过量子芯片的‘火眼金睛’无损探针仪来发现量子芯片的优劣，对于其中的‘坏品’、‘次品’，会采用激光退火仪去处理其存在的问题，就像是医生做手术一样，这把‘手术刀’能够‘对症下药’，改善其中‘不良’的部分，从而提高量子芯片的品质。”安徽省量子计算工程研究中心副主任贾志龙博士说，之前发布的量子芯片无损探针仪NDPT-100无损探针电学测量平台和这台量子芯片激光退火仪都属于量子芯片工业母机，前者是发现问题，后者是解决问题，可达百纳米级超高定位精度。它们之间相互配合，才能够生产出更高质量的量子芯片。

　　贾志龙博士表示，为了解决更高位数量子计算机中的多比特量子芯片生产问题，我们自主研发了该设备。这台激光退火仪拥有正向和负向两种激光退火方式，可以在生产过程中灵活调节多比特超导量子芯片中量子比特的关键参数。同时，该设备还可用于半导体集成电路芯片、材料表面局域改性处理等领域，目前已在国内第一条量子芯片生产线上投入使用。