图：华邦化学生产的“气体纯化器”产气纯度达到9N级，成功打破了国外长期垄断，为多项集成电路国家重点项目提供了实际配套支持。图为华邦化学研发人员在分析试验参数。 受访者供图

　　近年来，中国大力推进新型工业化，加快制造业转型升级，涌现出超过14万家专精特新中小企业，其中，专精特新“小巨人”企业达到14600多家，他们靠独门绝活打破外国技术垄断，往往把单一品类的“小市场”做成了享誉全球的“大生意”，进军全球大市场。大连华邦化学就是其中之一。他们的科研团队自2013年起深耕气体纯化器设备研究，成功打破了国外长期垄断，研制出产气纯度可达9N级的国产气体纯化器，不仅为多项集成电路国家重点项目提供了实际配套支持，还为中芯国际、京东方、英特尔、SK海力士等国内外行业巨头供应设备与服务。\大公报记者 宋伟

　　高纯度气体纯化设备，对于超大规模集成电路、平面显示器和半导体器件等生产而言，是不可或缺的关键配套装备。其生产的气体纯度高低直接关系到光电子、微电子元器件的质量与集成度。简体来说，半导体制程中需用到特殊气体（如氮气、氩气或氢气）进行蚀刻、沉积等步骤，必须达到极高纯度（例如99.9999%、6N级以上），否则微量杂质可能导致晶片缺陷。

　　美欧垄断，窒碍进步。长期以来，气体纯化器设备的生产技术被美国、日本、韩国等国家所垄断，虽然国产气体纯化器4N-5N级与欧美发达国家6N级以上存在显著代差，但超越突破的动能一直在积累。

　　实现进口替代 助力祖国攻芯

　　大连华邦化学的出现打破了这一局面。“我们生产的气体纯化器产气纯度高达99.9999999%（9N级），技术水平达到国际一流。”研发总监钱吉博士表示。从事相关研究逾20年，钱吉带领的科研团队自2013年起便开始了创业之旅。如今，国产9N级高纯度气体纯化设备不仅替代进口同类产品，成功打破了国外长期垄断，更为多项集成电路国家重点项目提供了实际配套支持。

　　企业负责人刘皖南表示，华邦化学当前在国内外全产业链市场覆盖率超过85%、占有率突破55%，实际产线运行设备数量超2000台／套。“去年，华邦化学年产值达5.1亿元，今年前两个月各项经济指标同比增长35%，发展势头十分强劲。凭借卓越性能与可靠性，企业已为中芯国际、京东方、英特尔、SK海力士等国内外行业巨头供应设备与服务。”

　　大国重器穿上“智能防护衣”

　　专利封锁，倒逼创新。从渤海之滨一路向南，相距3000公里的南海海域，总高338.5米的亚洲第一深水导管架“海基二号”，正稳稳矗立在324米深的海床之上。鲜为人知的是，为这台海上大国重器穿上“智能防护衣”的也是一家专注海洋科技领域的“小巨人”。

　　欧美长期以来垄断高端涂层材料和防腐配套体系，采用标准壁垒、材料禁运、专利封锁等手段，企图制约中国海洋工程防腐抗蚀技术发展。

　　重重挑战下，科迈尔科研团队持续自主创新，研发出“海基二号”的ICCP和HMS两大系统。大连科迈尔研发负责人朱东旭介绍说，“‘海基二号’导管架平台有超过75%的部分在海面以下，要经受风浪及内波流等恶劣海况的冲击。科迈尔自主研发的张紧式外加电流阴极保护及监测系统（ICCP）和基于数字孪生的结构健康管理系统（HMS）两大核心产品在“海基二号”上发挥作用，通过外加电流腐蚀防护、实时监测、评估预警等数智化手段，辅助制定科学运维方案保障深水海洋平台安全运行，就像为导管架平台穿上了‘智能防护衣’。”