图:上海微电子是中国目前较领先的光刻机生产商
有业界人士认为,中国最受掣肘的技术就是光刻机,因为光刻机内包含的不只是单一技术,而是不同範畴各自领先的顶尖技术,当中包括激光发射器、镜片以至相关的物料等。ASML能做到是因为“集百家之大成”,中国则要以一国之力,自主攻克所有挑战。
业界指出,ASML在超越尼康以及佳能前,由於资金等问题,要与英特尔、三星及台积电合作,由后三方出资、入股等,结合人才、技术甚至资金,协助ASML打低当时的尼康及佳能。此外,ASML亦要收购不同在技术上领先的公司,例如入股德国蔡司以取得顶尖的光学技术、收购美国的Cymber来确保分子激光器的供应等。现时与ASML合作的主要技术供应商接近800家,赢尽全球化下的优势。
反观中国,由於受到美国的针对打压,只能自主研发所有技术,因此所需的人力、物力更多,开发时间更长,完全无法受惠於目前全球化的格局。另外,不少内地的供应商,其实都要国家的支持,例如中科院等。
业界认为,中国现时唯一的优势,就是有ASML的成品作参考。“要在没有成功案例找出路,要从100条路找对的一条。人家已有成品,可以量产的机器。我们只要跟他们的路自己做,就少走99条无谓的路”。