【大公报讯】香港城市大学（城大）共同领导的研究团队，成功研发出新型真空紫外光超构透镜，能够产生及聚焦真空紫外光，聚焦光点的功率密度增强21倍。该新技术将变革真空紫外光光学市场，研究成果已刊于学术期刊《Science Advances》。

　　高端工业广泛应用

　　聚焦真空紫外光光源广泛应用于微纳光刻、材料处理、先进制作及其他高端工业领域。然而，由于波长100至200纳米的真空紫外光很容易被空气中的氧气吸收，因此须在真空腔室或其他特别场所才可应用。一直以来，只有用上特别非线性晶体的昂贵大型系统，才能生产及聚焦真空紫外光光束。

　　此外，由于现时用作光学透镜的各类玻璃会大量吸收真空紫外光，而目前可用的少数材料均脆弱易碎，使制造及设计轻薄透镜有诸多限制。

　　城大电机工程学系讲座教授蔡定平及研究助理教授陈沐谷，成功研发由150纳米长的三角形氧化锌纳米天线阵列组合成的真空紫外光超构透镜，能够转化并聚焦真空紫外光，提供一个便利的方法同时产生非线性真空紫外光并将其聚焦。

　　研究发现，新型真空紫外光超构透镜直径45微米，可将波长394纳米的紫外光转化为波长197纳米的真空紫外光，并将转化后的真空紫外光聚焦于直径小于200万分之一米的小点上。

　　根据美国莱斯大学所作的测试，聚焦光点的功率密度增强了21倍。

　　蔡定平表示，团队研发的真空紫外光超构透镜轻巧、高效能，且可通过半导体电子制造过程大量生产，将革新原来的真空紫外光光学技术及相关市场。此外，这项新技术将有助开发低损耗真空紫外光部件，令真空紫外光的应用更普及。