图:众多顾客在产品展台前试用新发布的华为5G手机。
荷兰阿斯麦(ASML)目前在售的深紫外线(DUV)光刻机中,有4种高端的浸润式光刻机,采用多重曝光技术,最高能实现7纳米晶片工艺。而通过多重曝光会导致良率降低、工时效率低、成本增加等问题。所以如果光刻机精度跟得上的情况下,一般不会采用多次曝光的技术,因为效率降低,同时良率也会显著下滑,最终导致成本可能成倍数上涨,非常不划算的。
不过要进入5纳米,就必须使用极紫外线(EUV)光刻机,因为DUV光刻机精度有限,不能无限的多次曝光。目前DUV光刻技术最多4次曝光,且只能达到7纳米。