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芯片制造中的稀土金属

2025-10-10 05:02:37大公报
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  图:芯片制造中的稀土金属、中方多措并举 加强稀土管制

  钪(Sc)

  应用工艺:先进逻辑芯片(FinFET/GAA晶体管)

  作用:界面优化:在氧化铪(HfO2)高介电材料中添加Sc2O3,降低晶体管栅极漏电流。

  钇(Y)

  应用工艺:存储器件(DRAM)

  作用:蚀刻掩膜:钇基化合物在极紫外(EUV)光刻中作为掩膜材料。

  铕(Eu)和铽(Tb)

  应用工艺:光刻胶、荧光标记

  作用:光敏剂:Eu3+配合物用于EUV光刻胶,增强光吸收和图案分辨率。

  钕(Nd)和镨(Pr)

  应用工艺:磁性存储器(MRAM)、封装

  作用:激光切割:Nd:YAG激光器用于晶圆切割和封装钻孔。

  大公报根据公开资料整理

  中方多措并举 加强稀土管制

  1、设备和原辅料

  10月9日,商务部联合海关总署发布2025年第56号公告,公布对部分稀土设备和原辅料相关物项实施出口管制的决定,11月8日起正式实施。

  内容:稀土生产加工设备、稀土原辅料相关物项被列入出口管制。

  2、相关物项

  10月9日,商务部联合海关总署发布2025年第57号公告,公布对部分中重稀土相关物项实施出口管制的决定,11月8日起正式实施。

  内容:钬、铒、铥、铕、镱等相关物项被列入出口管制。

  3、出口审批

  10月9日,商务部联合海关总署发布2025第61号公告,公布对境外相关稀土物项实施出口管制的决定。

  内容:对向境外军事用户的出口申请,以及向出口管制管控名单和关注名单所列的进口商和最终用户(包括其控股50%及以上的子公司、分公司等分支机构)的出口申请,原则上不予许可。最终用途为研发、生产14纳米及以下逻辑芯片或者256层及以上存储芯片,以及制造上述制程半导体的生产设备、测试设备和材料,或者研发具有潜在军事用途的人工智能的出口申请,逐案审批。

  4、技术管制

  10月9日,商务部联合海关总署发布2025年第62号公告,公布对稀土相关技术实施出口管制的决定,10月9日正式实施。

  内容:稀土开采、冶炼分离、金属冶炼、磁材制造、稀土二次资源回收利用相关技术及其载体等被列入出口管制。

  大公报记者朱烨整理

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